基于模拟晶圆检测数据建立缺陷分类表，按工序、批次、设备编号拆解异常来源；使用 Python 完成数据清洗、箱线图和 Pareto 图分析，定位关键波动参数；将分析结果转化为工艺检查清单，帮助小组在答辩中清晰说明异常定位路径和改善假设。

梳理实验室真空镀膜设备的点检流程，补充开机前确认、运行中记录和关机后清洁三个阶段的检查项；设计维护记录模板，统一故障现象、处理动作和复测结果字段；通过流程可视化降低新成员上手成本，提升设备使用记录完整性。